凈化車間，也可以稱為凈化車間或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有凈化車間，污染敏感零件不可能批量生產。那么凈化車間是由哪幾部分組呢？

　　凈化車間共有五部分組成：

　　1、隔間

　　凈化車間隔間分為三大部分,更衣室,千級區(qū)和百級區(qū),更衣室與千級區(qū),千級區(qū)和百級區(qū)均設風淋室(airshower),凈化車間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入凈化車間時,首先要經過風淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果。

　　2、風系統(tǒng)風系統(tǒng)流程圖

　　系統(tǒng)采用的是全新風空調箱+FFU系統(tǒng)：

　　<1>全新風空調箱結構

　　<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風機和過濾器

　　千級區(qū)過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區(qū)過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%。

　　3、水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖

　　冰水系統(tǒng)分為一次側和二次側.

　　一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給干盤管系統(tǒng).一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.

　　板式換熱器原理

　　干盤管:不結露的盤管,因凈化車間溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入凈化車間,所以進干盤管的冰水溫度在12-14度.

　　4、控制系統(tǒng)(DDC)溫度:干盤管系統(tǒng)控制

　　濕度:空調箱調節(jié)通過感測的信號,控制三通閥開度來調節(jié)空調箱盤管進水量。

　　正壓:空調箱調節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號,自動調節(jié)空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節(jié)進入室內的新風量。

　　5、其他系統(tǒng)

　　不只是空調系統(tǒng),凈化車間系統(tǒng)中還包括有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳系統(tǒng),制程排氣系統(tǒng)。